用于等离子体诊断的先进Langmuir探针

的希登ESPion系列是等离子体过程分析仪的螺栓，设计用于快速响应，等离子体参数的高灵敏度分析。

配备间谍软件，隐藏的多层次软件包，提供简单的控制ESPion系统提供与等离子体稳定性和再现性有关的直接信息。该软件的特点是自动实时外推等离子体参数给出等离子体性质的详细信息。计算了大量等离子体参数，包括等离子体电位、浮动电位、电子温度、电子能量分布、离子密度和离子通量。测量可以与外部等离子电源同步，用于脉冲等离子体研究(如HiPIMS)中的时间分辨测量。

ESPion系统提供一系列标准采样选项，以适应广泛的等离子体应用，包括ECR, HiPIMS，磁控管放电，Helicon源，直流辉光放电，脉冲等离子体和激光烧蚀。探头提供Hiden的创新多电感链宽带射频阻塞。对于高温应用，探头具有整体气体冷却。软件自动自清洁循环，以限制探针尖端污染。可选升级包括，灵活和铰接探头，以及全自动z-驱动器的空间分辨率测量。对于脉冲沉积工艺，时间分辨率测量可达到50 ns时间分辨率。

ESPion系列旨在为等离子体分析的表征和均匀性测量的各个方面的参数监测提供功能齐全，灵活和强大的解决方案。

下载ESPion手册．