新涂料模块改变了SEM和薄膜溅射涂层的面

溅射夹具的选择通常是SEM的细粒涂层或快速沉积用于薄膜和高级EM应用的各种材料的能力之间的折衷。

Safematic通过开发两个独特的（专利）的溅射模块来巧妙地解决了这一问题，这些模块迅速插入CCU-010 HV涡轮泵泵式座椅底座。标准的SP-010紧凑型溅射模块是许多SEM应用的理想选择，但是如果需要非常快速的沉积和/或需要更具挑战性的溅射金属，则SP-011快速溅射速率模块可提供额外的优势。

SP-011使用特殊的溅射磁铁几何形状和电源，并针对溅射金属（例如铁磁材料或氧化锡锡）（ITO）进行了优化，该金属最近已作为相关显微镜（CLEM）应用的理想涂层材料出现。

Safematic Sptpering模块将很多装入很小的空间中。包括磁控管，目标，快门，工艺压力调节器和紧凑型电源电子设备的独特插件格式。有一个简单的用户界面，可以访问位于CCU-010溅射凸台中的电源和气体供应的涂料配方和设置。基本单元上的交换模块需要几秒钟。这两个溅射模块均包括独特的溅射头冷却和监测，以确保高质量的涂层并允许长时间的流程，从而减轻了许多其他涂层系统所需的休息时间的需求。可以使用用于TEM和SEM的CT-010碳涂料模块获得额外的功能，该模块具有专利的自动碳纤维启动系统，该系统可允许多达50个顺序碳蒸发运行。

Safematic紧凑型涂层单元CCU-010 HV具有一个集成的无油泵送系统，有助于提供类领先的真空性能（至2 x10-6mbar），具有很小的占地面积（35 x 55 cm）。

总部位于苏塞克斯的LabTech International代表了英国和爱尔兰的各种Safematic Coaters。