光学和XRF成像与分析

HORIBA科学已经发布了xgt - 9000x射线分析显微镜(xrd)，同时对样品进行元素分析和光学观察。结合Horiba专有的x射线技术XGT-9000不仅在包括半导体集成电路在内的一系列生产过程中筛选外来物体，它还以高度的精度测量薄膜厚度和粘附量。xgit -9000综合了高分辨率显微镜和高强度x射线束的特点，对样品进行无损异物分析，可在快速筛选异物的高速分析模式和使用早期模型中首次加入的微光束的详细分析模式之间切换。

XGT-9000配备三种类型的光学照明:亮场同轴、暗场和透射。结合亮场同轴和暗场照明，可以清晰地观察平坦或不均匀区域的样品，如半导体晶圆和薄膜。XGT-9000提供高度准确和快速的异物分析，使其能够检测可见的异物和不可见的异物，小至几微米大小。

辐照x射线与光学观测图像是同轴的，这避免了任何不对中。其他改进包括缩短分析时间，增强测绘和图像处理，以及易于与其他分析设备组合。该软件包包括定量和定性化学分析，厚度测定和图像分析功能。