分子束质谱仪的扩展应用

的希登分析HPR-60分子束质谱仪(MBMS)是专门为研究人员设计的，用于从等离子体和燃烧/火焰化学、催化反应、化学气相沉积、半导体气体减排和环境化学等不同过程中直接采样的活性和中性气体物种的定量分析。

该系统结构紧凑，占地面积小，可提供两级和三级差压泵版本，通过广泛的压力范围优化性能，适用于常压以下的应用。紧密耦合的多级泵浦和精确对齐的撇油锥迅速降低压力到特高压，形成一个明确的分子束，最大限度地减少反应性和可冷凝性物种的分子间碰撞，以获得最佳的分析完整性。

通过包含一个优雅的动态波束斩波系统，加上对调制后的前景和背景采集数据的快速采集门控，对真实过程中性物种的检测显著增强，用于抑制100倍的剩余贡献。通过加入软电离模式来控制电离过程中的分子碎片，进一步加强了对过程中性的研究，并且该技术在负离子模式下进一步扩展到通过低能电子附着过程对电负性物种的选择性测量。